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一种声表面波驱动微型齿轮的微型泵装置.pdfVIP

一种声表面波驱动微型齿轮的微型泵装置.pdf

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    本发明公开了一种声表面波驱动微型齿轮的微型泵装置。包括压电基板和固定在压电基板之上的泵体腔室；泵体腔室铺设在压电基板的顶端面上，介质在泵体腔室内从泵体腔室的一端流向另一端；泵体腔室的两端的两侧各设置有一个叉指电极，在泵体腔室内部间隔地布置有一号微型齿轮和二号微型齿轮，上盖板与泵体腔室对齐后布置于泵体腔室的顶端面上，上盖板的两端分别开设有一号流道口和二号流道口，叉指电极激发出的声表面波向泵体腔室内传播，从而通过声表面波的声能驱动泵体腔室内的微型齿轮进行旋转。本发明能够实现包括微流泵送、微粒加速传输

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN115263714A

    (43)申请公布日2022.11.01

    (21)申请号202210932064.X

    (22)申请日2022.08.04

    (71)申请人浙江大学

    地址310058浙江

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