原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
提供被加工物的加工方法，将被加工物形成为完工厚度，确保包含磨削屑的磨削水不会浸入相邻的芯片间的间隙。该被加工物的加工方法包含：正面保护步骤，利用正面保护部件(1)覆盖被加工物(W)的正面(Wa)；保护部件加热步骤，使正面保护部件的粘接材料硬化收缩；变质层形成步骤，在被加工物的内部形成变质层(M)；背面磨削步骤，对被加工物的背面(Wb)进行磨削，形成为芯片的完工厚度；和保护部件扩展步骤，将被加工物分割成各个芯片(C)并使芯片的间隔(7)扩展，通过利用保护部件加热步骤使正面保护部件的粘接材料硬化收缩
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN110211926A
(43)申请公布日
2019.09.06
(21)申请号20191
文档评论（0）