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本发明提供一种透明可折叠的Ga2O3晶体管及制备方法和应用,包括:步骤一、制备背栅Ga2O3场效应晶体管:将Ga2O3薄膜覆盖在标记片的工作面的第一区域,在Ga2O3薄膜和标记片的工作面上光刻阴极窗口和阳极窗口,在标记片的工作面的第二区域上沉积金属电极;步骤二、形成欧姆接触:将制备的背栅Ga2O3场效应晶体管在预定温度下、惰性气氛中快速退火预定时间;步骤三、制备含有Ga2O3器件薄膜:在标记片的工作面上涂胶后浸泡在HF缓冲液中;步骤四、制备柔性衬底;步骤五、转移含有Ga2O3器件薄膜:将含有Ga
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117542739A
(43)申请公布日2024.02.09
(21)申请号202311763752.9
(22)申请日2023.12.20
(71)申请人西安电子科技大
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