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本发明公开了一种无腐蚀型光阻剥除剂，包括如下重量份的组分：有机胺、有机溶剂、有机碱类渗透催化剂和缓释剂组合物；所述的缓释剂组合物包括组分A和组分B；所述的组分A为五元环或六元环的含氮杂环类化合物；所述的组分B为镧系元素的硫酸盐，醋酸盐或硝酸盐。本发明可以有效且快速的剥除与基材结合力强且较厚的抗蚀剂，同时不会在剥除过程中引起铜面的腐蚀或异色及贾凡尼效应。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117539135A
(43)申请公布日2024.02.09
(21)申请号202311583423.6
(22)申请日2023.11.24
(71)申请人南通群安电子材料有限公司
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