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一种干涉测量非连续相位展开方法.pdfVIP

一种干涉测量非连续相位展开方法.pdf

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    本发明提供一种干涉测量非连续相位展开方法。在干涉测量时，被测相位分布是唯一确定的，产生非连续相位分布时，在非连续相位上叠加不同的倾斜状态后，条纹的表现形式是不一样的。利用该现象，多次调整被测件，得到多组在不同倾斜状态下的包裹相位，通过优化算法寻找各相位的级次，获取解包裹后相互间整体相位差异最小的相位分布，即为准确的解包裹相位分布。本发明为干涉测量非连续相位的展开提供了一种快速有效的解决办法。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117538293A

    (43)申请公布日2024.02.09

    (21)申请号202311593055.3

    (22)申请日2023.11.23

    (71)申请人中国科学院光电技术研究所

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