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本说明书实施例提供一种晶圆检测用反光镜卡盘，包括：卡盘本体，所述卡盘本体上开设有安装口，所述安装口周缘设置有气道，所述卡盘本体上还开设有沉槽，所述沉槽将所述气道隔断，所述沉槽内开设有若干注胶槽；反光镜，所述反光镜安装于所述安装口处，所述注胶槽内填充有胶体以粘贴反光镜，使得所述反光镜固定在所述安装口处。通过在安装口的周缘设置气道，晶圆吸附仅通过边缘一圈气道，避开需要检测的区域，避免影响光学成像，通过在安装口处安装反光镜，能够将大部分光线反射回成像系统，显著改善成像质量。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117542785A
(43)申请公布日2024.02.09
(21)申请号202311506783.6
(22)申请日2023.11.13
(71)申请人魅杰光电科技（上
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