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2024-02-10 发布于四川
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本发明公开了一种可无损监测膜厚的机械密封装置，包括动环和静环。动环和静环在工作状态时，动环和静环之间具有流体膜；从静环的背面向静环内入射太赫兹波，太赫兹波到达流体膜与静环相接触的端面时首次发生反射和折射，首次反射的太赫兹波返回，而首次折射的太赫兹波在流体膜内沿直线传播，到达流体膜与动环相接触的端面时再次发生反射和折射，再次反射的太赫兹波回到静环端面发生折射后返回，计算接收到的首次反射的太赫兹波返回时间和再次反射的太赫兹波返回时间之间的时间差，由时间差乘以太赫兹波的波速得到流体膜的膜厚。本发明可以

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117537095A

(43)申请公布日2024.02.09

(21)申请号202311639926.0

(22)申请日2023.12.01

(71)申请人清华大学

地址100084

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