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基于针-板DBD的微尺度放电模式探讨的中期报告

本文基于针-板等间隙丝板放电器的放电现象，探讨了微尺度放电模式的形成与特点，并提出了其在气体处理和微纳制造领域中的应用前景。

针-板等间隙丝板放电器是一种常见的大气压放电设备，其具有简单、灵活、易于控制等优势，因此被广泛应用于气体处理、空气净化、微纳制造等领域。在这些应用中，针-板等间隙丝板放电器的工作状态往往处于微尺度放电模式，即电流密度较小、放电空间较小、能量转移效率高等特点。

微尺度放电模式的形成与特点主要包括以下几点：

1.电流密度较小：微尺度放电模式下，放电器的电流密度往往处于10mA/cm2以下，远小于常规大气压放电设备的电流密度。

2.放电空间较小：微尺度放电模式下，放电器的放电间隙往往在几微米至几十微米之间，与常规大气压放电设备的几百微米至几毫米之间的放电间隙相比，放电空间显著减小。

3.能量转移效率高：微尺度放电模式下，能量转移效率大大提高，因此能够实现更高效的气体处理和微纳制造。

微尺度放电模式的应用前景主要包括以下几个方面：

1.气体处理：微尺度放电模式下的针-板等间隙丝板放电器可以实现高效的气体处理，如气体清洗、催化剂活化、废气处理等。

2.空气净化：微尺度放电模式下的针-板等间隙丝板放电器能够对空气中的有机污染物、细菌、病毒等进行高效去除，因此可以应用于室内空气净化等领域。

3.微纳制造：微尺度放电模式下的针-板等间隙丝板放电器可以实现高精度微纳加工，如微孔加工、微电极制备等。

总之，微尺度放电模式是一种新型的高效放电模式，在气体处理和微纳制造领域具有广泛的应用前景。未来研究可以进一步探究微尺度放电模式的机理和优化方法，以提高其实际应用效果。