黄志斌Process学习记录.docx

R600 黄志斌

一、分步流程：

WashClean:清洗

放板机→入料→○1风切（吹除玻璃表面粉尘）→脱脂毛刷→风切（清洗液循环回

收）→○2风切→纯水洗→循环水洗→→超声波水洗→○3加压水洗→加压水洗→

BJ洗净（雾化清洗）→纯水洗→○4吹干→出料→

IR/UV/CP：红外/紫外/冷却

IR（IR*n）→UV（杀灭板面上存在的有机物/体）→CP（冷板）→

*有机体/物的存在会降低光阻（PR）的附着能力，影响光阻涂布的质量效果

PRCoating（Spin/Roller/Slit）：光阻涂布

暂存机→PRRollerCoater→输送机（3线Metal线：无输送机）→

*前挤量和下压量：两者一起控制膜厚和涂布质量

远端/近端：靠近人员操作平台一侧为近端，反之则为远端；两者综合一起反映了待涂布板面的水平程度

Pre-bake:软烤

热风烤箱→90℃-110℃-140℃*3→140℃-110℃-50℃-25℃-20℃→

*如无特别要求，最后两块冷板默认温度分别为25℃和20℃。

#软烤后进行涂布确认，可能出现的异常有：

异常种类

可能原因

影响效果

处理

备注

箭影

涂布前清洗或烘

影响蚀刻

请PE/ME改善，

烤不干净；PR粘

超标则需返工

度过大；涂布机

导轮印

参数不匹配

机台原因

影响外观

请PE/ME改善，

有导轮的环节都

注意机台保养