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本申请实施例提供了一种氢计的标定方法及标定装置。氢计包括测量腔、氢渗透结构、质谱仪以及含有离子泵的高真空系统，测量腔用于接收含氢的标定气体，氢渗透结构位于测量腔内，高真空系统用于为氢渗透结构提供高真空环境以使标定气体中的氢气渗透进入氢渗透结构内。标定方法包括：向测量腔提供标定气体；利用高真空系统使标定气体中的氢气渗透进入氢渗透结构内；利用质谱仪检测进入氢渗透结构的气体组成成分；利用离子泵检测进入氢渗透结构的气体浓度；根据标定气体中氢气的浓度和质谱仪检测的气体组成成分，对离子泵检测的气体浓度进行标
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117554460A
(43)申请公布日2024.02.13
(21)申请号202311508729.5
(22)申请日2023.11.14
(71)申请人中国原子能科学研究院
地址10
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