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本发明涉及一种X射线检测技术,具体为一种自动化X射线检测、点料、上料和下料从而提高生产效率的全自动半导体元器件X射线检测设备,包括上料工位、待测料盘、扫码组件和铅房,待测料盘设在上料工位上,扫码组件设在上料工位上且正对待测料盘,铅房上设有用于待测料盘进入的电动升降门,铅房内设有在测料盘放卷机构、测料盘放卷机构上方设有撕胶带部件和CCD相机,在测料盘放卷机构与收料盘机构水平高度一致,X‑ray光管设在铅房中且位于在测料盘放卷机构和收料盘机构之间,FPD成像机构在X‑ray光管上方,在测料盘放卷机构
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN109444179A
(43)申请公布日
2019.03.08
(21)申请号20171
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