原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本申请公开了一种特殊气体输送分配箱。该特殊气体输送分配箱包括柜体和阀组面盘，所述阀组面盘设置在所述柜体内；所述阀组面盘包括供气回路、吹扫回路和抽真空回路；所述供气回路包括多个支路，每一支路连接至一个用气设备的供气回路；每一支路上依次连接支路气动阀、支路阀、支路调压阀、压力表和支路出口阀；所述吹扫回路由吹扫氮气管路连接至每一支路，所达抽真空回路的真空发生器的真空端通过多个低压排气阀连接到所述供气回路中，每一低压排气阀接入一个支路的支路调压阀与支路出口阀之间。供气回路将外部气体供给设备使用；通过吹扫
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220488922U
(45)授权公告日2024.02.13
(21)申请号202321440301.7
(22)申请日2023.06.07
(73)专利权人上海盛韬半导体科技有限公司
地址
文档评论（0）