大行程晶圆搬运机器人.pdfVIP

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2024-02-14 发布于四川
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本发明公开了大行程晶圆搬运机器人，涉及晶圆搬运技术领域，大行程晶圆搬运机器人包括运移组件和搬运组件，运移组件用于搬运组件在空间上移动，搬运组件包括搬运基板，搬运基板一端延伸设有平行设置的搬运杆，搬运杆套设有吸附件，吸附件包括第一套体，搬运杆套设在第一套体的内部；第一套体侧方设有吸附基台，吸附基台相对两侧设有吸附副台，吸附副台配置有辅助件，辅助件内部配置有与外界连通的气路。本发明的目的在于提供一种大行程晶圆搬运机器人，能够实现对晶圆的大批量、高稳定性搬运，提高搬运效率，并可扩大使得晶圆移动的范围、

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117549327A

(43)申请公布日2024.02.13

(21)申请号202410022657.1

(22)申请日2024.01.08

(71)申请人无锡星微科技有限公司杭州分公司

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