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本发明涉及真空镀膜机技术领域，具体的说是一种具有多级温控系统的真空镀膜机，包括镀膜机本体，所述镀膜机本体内部安装有挂架机构，挂架机构包括往复电机，往复电机输出端固定安装有双向丝杆，本发明采用了两套可独立调节的挂架，两个挂架可同步进行调节，以适应不同尺寸的基片，与现有技术部分可调节挂架不同之处在于，本发明中的挂架有多种应用形式，提高了本发明所述挂架的适用范围，更加适用于镀膜实验室等基片样本大小不一的使用环境，无需工作人员更换挂架，降低了工作人员的劳动强度，节省时间，也提高了镀膜效率。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117551976A
(43)申请公布日2024.02.13
(21)申请号202311665012.1
(22)申请日2023.12.05
(71)申请人深圳海容高新材料科技有限公司
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