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本发明提供一种声表面波谐振器及其制作方法，该谐振器包括半导体层及电极层，位于电极层中的叉指换能器包括两个在第一方向上相对设置的叉指电极，每一叉指电极均包括母线、与母线连接并在第一方向上延伸的多个电极指及虚拟指，两个叉指电极中的虚拟指与电极指相对且具有间隙。该谐振器通过设置于虚拟指区域的质量负载单元所带来的质量负载效应和/或通过增加电极指位于虚拟指区域内的部分的宽度以降低声表面波在虚拟指区域内的传播速度，减少横向能量泄露，从而改善谐振器在谐振频率与反谐振频率之间频率区间内的电导及导纳特性，提升谐振
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117559951A
(43)申请公布日2024.02.13
(21)申请号202311682905.7
(22)申请日2023.12.07
(71)申请人江苏卓胜微电子股份有限公司
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