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本发明提供一种真空蚀刻机的减振装置，涉及减振装置技术领域，包括：承载底座，所述承载底座顶端面中心部位开设有一处弹簧收纳槽a，弹簧收纳槽a内端底面固定安装有一组减振弹簧；所述承载底座正上方设有一块承托块体，承托块体底端面与减振弹簧顶端固定相连接；本发明减振装置在实现消能减振的同时，可对所减振支撑的设备实现有无位置偏离的实时监测，当监测判定其发生位置偏离时，一是通过高分贝的蜂鸣警示，对周围工作人员实现警示提醒，二是通过第一时间的无线网络消息发送，以便于在设备不运行状态下，对工作人员实现消息提醒，解决
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117558088A
(43)申请公布日2024.02.13
(21)申请号202410022024.0
(22)申请日2024.01.08
(71)申请人厦门理工学院
地址361024
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