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本实用新型涉及芯片除尘设备技术领域，尤其涉及一种芯片脏污粘尘装置。其包括底板、设置在底板1侧边的侧立板、设置在所述侧立板上的伺服驱动模组、受所述伺服驱动模组驱动的伺服夹持模组，还包括设置在所述底板上的ESD粘尘棒取料单元、以及设置在所述ESD粘尘棒取料单元旁的粘尘棒定位CCD单元，所述伺服夹持模组旁还设置有高度测距传感器，所述粘尘棒定位CCD单元包括侧CCD检测相机、底部CCD检测相机以及CCD光源。本实用新型的有益之处：通过前后工序配合自动定位芯片上的脏污、尘点，自动更换粘尘棒，自动粘尘的功能
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220479616U
(45)授权公告日2024.02.13
(21)申请号202321624743.7
(22)申请日2023.06.26
(73)专利权人昆山普杰科特半导体有限公司
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