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本发明提供了一种探针卡的力反馈测量装置以及力反馈测量方法，属于半导体测试领域，具体包括结构组件，具有套护探针卡的刚性板以及设置在刚性板下方的至少两个拉压力传感器，拉压力传感器对探针卡的受力情况进行实时监测；装夹组件，用于将探针卡可拆卸地固定在刚性板的下方，且将探针卡与拉压力传感器锁紧；加压平台，位于刚性板的下方，用于对探针卡施力加压；数据处理设备，用于接收拉压力传感器传递的电信号，并生成与探针卡对应的受力分析数据。通过本申请的处理方案，提高了测试的便捷性，节省了测试的时间。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117554047A
(43)申请公布日2024.02.13
(21)申请号202311517857.6
(22)申请日2023.11.14
(71)申请人上海泽丰半导体科技有限公司
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