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本发明公开了一种晶圆内部和外部瑕疵检测区分装置，包括平行光源组件、晶圆支架、垂直光源组件以及检测组件，所述晶圆置于所述晶圆支架上，所述平行光源组件设于所述晶圆支架的侧方，所述检测组件设于所述晶圆的中轴线上，所述平行光源组件产生的光线包括上平行光和下平行光，所述上平行光掠过所述晶圆的上表面，所述下平行光掠过所述晶圆的下表面。本发明相较于现有技术具有更高的检测精度、更高的检测效率以及更低的成本，能够有效提高晶圆制造过程中的质量控制水平。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117554386A
(43)申请公布日2024.02.13
(21)申请号202311737485.8
(22)申请日2023.12.18
(71)申请人上海谦视智能科技有限公司
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