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一种MEMS压力传感器.pdfVIP

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  • 2024-02-14 发布于四川
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一种MEMS压力传感器.pdf

    本发明提供了一种MEMS压力传感器，包括基座，基座的顶面设有凹腔，所述凹腔的内壁从上往下依次设有一级感压膜片和二级感压膜片；所述一级感压膜片、二级感压膜片与凹腔的内壁合围形成密封腔，所述密封腔内部填充有导压液，所述密封腔的内径从上往下依次递减；所述二级感压膜片与凹腔的底部合围形成检测腔，所述检测腔的底面设有固定电极，所述二级感压膜片的底面设有与固定电极相配的活动电极，所述固定电极与活动电极构成第一电容器。当一级感压膜片受压向下弯曲形变时，密封腔内的导压液会压迫二级感压膜片向下弯曲形变，二级感压膜

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117553942A

    (43)申请公布日2024.02.13

    (21)申请号202311798718.5G01L9/00(2006.01)

    (22)申请日2023.12.2

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