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本实用新型涉及半导体真空回流炉的载具技术领域,本实用新型公开了一种防磨损的载具,包括底框和托条,所述底框为不锈钢材料,所述托条为铝合金材料,所述底框上包括有若干个减重孔,所述托条的数量为两条以上,所述托条均安装在所述底框上,所述托条上设有沿所述底框的长度方向延伸的放置槽。该载具的底框慈采用不锈钢材,托条采用铝合金材料,在该载具进入了烘干室之后,烘干室温度高达400℃的情况下也不会使如目前铝质载具熔融掉渣,导致导轨不平整而出现卡滞的情况,降低了维护频率;此外,该载具通过设计包括了多个减重孔的底框,
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220491857U
(45)授权公告日2024.02.13
(21)申请号202322129768.6
(22)申请日2023.08.08
(73)专利权人佛山市蓝箭电子股份有限公司
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