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2024-02-14 发布于四川
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一种单轴微机电陀螺仪.pdf

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本发明涉及陀螺仪技术领域，公开一种单轴微机电陀螺仪，包括：第一锚点和驱动连接梁，驱动连接梁与第一锚点相连；驱动耦合组件和驱动质量块，驱动质量块通过驱动耦合组件相连；检测连接梁和检测质量块，每个检测质量块均通过检测连接梁与驱动质量块相连；包括耦合连接梁和耦合弹簧的驱动检测耦合组件，每个耦合弹簧均与两个驱动块组和两个检测质量块相连，每个耦合连接梁的两端分别与两个驱动质量块相连；梳齿驱动电极，对称分布在四个驱动质量块内；梳齿驱动检测电极，对称分布在四个驱动质量块内。本发明公开的单轴微机电陀螺仪电容量大

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117553765A

(43)申请公布日2024.02.13

(21)申请号202311712193.9

(22)申请日2023.12.13

(71)申请人成都博纳神梭科技发展有限公司

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