原创力文档- 13
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- 2024-02-14 发布于四川
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本申请公开了一种抽真空装置及真空系统，抽真空装置包括：装置主体、套管、冷凝机构和加热件，装置主体具有进口端；套管连接于进口端，套管内设有与进口端连通的腔体；冷凝机构设于腔体内，用于对流经腔体的介质进行冷凝；加热件至少部分环绕冷凝机构设置，用于对冷凝机构进行加热除霜。通过冷凝机构对流经套管内的气体进行冷却，使气体中携带的水分子及工艺残留物等介质冷凝集聚，从而促进这些介质的排除，有助于提高抽真空装置的真空抽气效率。同时，可以利用加热件对腔体内进行加热，以去除套管的内壁以及冷凝机构上的结霜，确保抽真空
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117553016A
(43)申请公布日2024.02.13
(21)申请号202311278111.4
(22)申请日2023.09.28
(71)申请人隆基绿能科技股份有限公司
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