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基于非晶丝SI效应的阵列压力传感器研究的中期报告

中期报告：基于非晶丝SI效应的阵列压力传感器研究

一、研究背景

随着现代工业的发展，压力传感器在各种工业领域中应用越来越广泛。晶体压阻效应是一种常见的物理效应，但是在高温和高压等环境下其性能容易受到影响。因此，越来越多的研究开始关注非晶态材料的应用。非晶态材料具有高强度、高硬度和优异的耐腐蚀性能等特点，可以应用于高温和高压等恶劣环境中。

二、研究目的

本研究旨在基于非晶态材料的SI效应开发出一种高精度、高灵敏度的阵列式压力传感器并对其性能进行评估。

三、研究方法

1.非晶态材料制备

使用溅射沉积法制备非晶态丝。

2.非晶态丝压力传感器制备

使用微纳加工工艺将非晶丝安装在阵列式传感器上。

3.性能测试

使用测试系统对传感器进行相应的性能测试，包括灵敏度、分辨率和响应时间等性能测试。

四、中期研究成果

1.成功制备出非晶态丝。

2.完成了阵列式压力传感器的设计和制备。

3.进行了初步性能测试，发现非晶丝SI效应可以用于制造高灵敏度和高分辨率的压力传感器，但灵敏度还需要进一步提高。

五、后续研究计划

1.进一步优化制备工艺，提高灵敏度和分辨率。

2.进行更系统化的性能测试和对比实验，确定非晶态材料的SI效应应用于阵列式压力传感器的可行性和性能优缺点。

3.根据性能测试结果进行进一步优化和改进，开发出高性能的阵列式压力传感器产品。