GB/T 14146-2021硅外延层载流子浓度的测试　电容-电压法.pdf

ICS77.040

CCSH21

道昌

中华人民共和国国家标准

GB/T14146-2021

代替GB/T14146-2009

硅外延层载流子浓度的测试

电容－电压法

TestmethodforcarrierconcentrationofsiJiconepitaxiallayers-

Capacitance-voltagemethod

2021-05-21发布

2021-12-01实施

国家市场监督管理总局华舍

国家标准化管理委员会保叩

GB/T14146-2021

目IJ~

本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和l起草规则》的规定

起踪。

木文｛’H~替GB/T141刊－2009《硅外延层载梳子浓度测定来探针也容一电压法》．与

GH/Tl-l146-2009相比，｜徐结构调整和编辑性改动外．主要技术变化Jm下：

a)更改了本文件的范防！．包括规定的内容和适用范阴（见第1t在.2009年版的第u言h

b)删除了规范性引用文件中的GB;T1552，增加了GB/T1551、GB/T6624、GB／了H264C见那2

主在.2009年版的第2意）：

c增加了术语和定义（见第3f,t);

d)更改了试验条件的要求（见第二l掌.2009年版的6.2);

的删除了乘探针电容·电照法原理巾的公式．更改了原理的表述（见5.1.2009年｝恒的第3常）：

f)增加了样品tlil］备、测试仪~Ii操作、测试机台维护后的乘探针调斌对测试结果影响的干扰｜刘京

（见5.2.1):

g)更改了样品表丽、泉、装采毛细管对测试结果的影响（J!l5.2.2、5.2.3、5.2.4.2009年版的4.1):

h)增加了确定补偿咆容月1标准样片原皮对测试结果的影响（见5.2.7):

i)均）Jll了补偿电容归零调整或敬值确定、电窑拍1!1]ill；电路串联电阻、校月＇~仪器J+J质且！！在控片刻测试

结果的影响（见5.2.8、5.2.9,5.2.10):

j)更改了··民剂”中去~！子水、纸气的要求（见5.3.4、5.3.5.2009年版的5.3、5.5):

k).Jf/]JU了··试齐I］”中压缩空气的要求（见5.3.6):

I)更改了11:!,容仪的要求［见5.4.1c).2009年j恒的6.1.2、6.1.3]:

m)］！改了乘探针「包容·电压测试仪器rl1数字伏特计的要求［兑5.4.ld).2009f.J恒的6.1.3];

n)增加了甩干设备、烘干设备、辛苦闭烘烤腔的要求〈见5.4.2、5.,1.3、5.1.4):

。）增加了样品处理后表f嗣同检应光亮沽净的虫：求（兑5.5.1）.~五改了样品的化学试剂处理步骤

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