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高温条件下MEMS微构件动态特性测试技术研究的中期报告

摘要：

本文研究了在高温条件下，MEMS微构件的动态特性测试技术。通过对现有技术的分析和对实验结果的观察，我们发现在高温环境下测试微构件的动态特性是非常具有挑战性的。因此，我们提出了一种新的测试方案，从测试器件的结构和测试方法两个方面对其进行改进。

在结构方面，我们采用了一种新型的双层结构，既能够在高温环境下保持微构件的结构稳定，又能够充分发挥微构件的动态响应能力。通过数值模拟和实验验证，证明了该结构的可行性和优越性。

在测试方法方面，我们引入了一种新型的非接触式测试方法，即利用激光干涉仪对微构件进行位移和振动测试。该方法不仅能够保持测试环境的纯净，减少了测试误差，还能够对微构件进行精确高效的测试。

实验结果表明，我们提出的双层结构和非接触式测试方法能够有效提高在高温环境下微构件动态测试的精度和可靠性。这些研究成果对于MEMS技术的发展和应用具有一定的参考意义。

关键词：高温测试，MEMS微构件，动态特性测试，双层结构，非接触式测试方法。

Abstract:

ThispaperstudiesthedynamiccharacteristicstestingtechnologyofMEMSmicro-componentsunderhightemperatureconditions.Throughtheanalysisofexistingtechnologiesandobservationofexperimentalresults,wefoundthattestingthedynamiccharacteristicsofmicro-componentsunderhightemperatureenvironmentisverychallenging.Therefore,weproposeanewtestingschemetoimproveitfromthestructureandtestingmethodofthetestingdevice.

Intermsofstructure,weadoptanewdouble-layerstructurethatcanmaintainthestructuralstabilityofmicro-componentsinhightemperatureenvironmentandfullyutilizethedynamicresponseabilityofmicro-components.Throughnumericalsimulationandexperimentalverification,thefeasibilityandsuperiorityofthestructurehavebeenproved.

Intermsoftestingmethods,weintroduceanovelnon-contacttestingmethod,whichusesalaserinterferometertomeasurethedisplacementandvibrationofmicro-components.Themethodcannotonlymaintainthepurityofthetestingenvironmentandreducetestingerrors,butalsoperformpreciseandefficienttestingonmicro-components.

Theexperimentalresultsshowthatourproposeddouble-layerstructureandnon-contacttestingmethodcaneffectivelyimprovetheaccuracyandreliabilityofmicro-componentdynamictestingunderhightemperatureenvironment.TheseresearchresultshavecertainreferencesignificanceforthedevelopmentandapplicationofMEMStechnology.

Keywords:hightemperaturetesting,MEMSmicro