(1.8)--第8章洁净室检测与认证.pptVIP

第8章洁净室检测与认证;;8.1检测程序及要求;三态检测

1）空态检测

设施已建成，所有动力接通并运行，但在无生产设备、材料和生产人员在场的情况下所进行的测试称为空态检测。

2）静态检测

设施已建成，生产设备已经安装好，并以用户和供应商同意的方式运行，但没有生产人员在场的情况下所进行的测试称为静态检测。

3）动态检测

设施以规定的方式运行，有规定数目的人员在场，并以双方同意的方式进行工作的情况下进行的测试称为动态检测。

;检测内容

洁净室的检测可分为洁净室工程竣工验收的检测、综合性能评定的检测和运行中的监测及定期综合性能检测。

1）竣工验收

《洁净室施工及验收规范》中明确规定，竣工验收在对各分部工程作外观检查、单机试运转、系统联合试运转，空态或静态条件下的洁净室性能检测和调整以及对有关的施工检查记录合格后进行。

2）综合性能全面评定

综合性能全面评定的检测工作必须由有经验的第三方承担；检测所用仪表必须合格有效。检测工作须在系统调整符合设计要求并运行至少24h后进行，而且，在检测工作之前，必须对洁净室及净化空调系统再次进行全面彻底的清扫。

;3）洁净室（区）性能测试和认证

洁净室（区）投入运行后，为了检测其综合性能是否可做到始终符合设计要求、标准规范的规定和满足业主的产品生产质量要求，需对洁净室（区）进行监测和定期性能测试认证，测试认证工作应由专门的洁净室检测认证单位承担。

上述三种不同阶段、不同时序的洁净室（区）的检测内容及要求，有相同也有差异，下表列出了它们的各自检测项目的情况。;洁净室（区）各阶段测试要求;序号;8.2检测方法及评定标准;1）检测要求

一般采取粒子计数器法进行检漏，被检高效过滤器必须已检测过风量，并在设计风速的80%～120%之间进行。

对于被检高效过滤器上风侧的微粒浓度符合下列要求：

对受控微粒≥0.5m的浓度，≥3.5×104pc/L；

对受控微粒≥0.1m的浓度，≥3.5×106～3.5×107pc/L。;2）检测方法

采用扫描法对高效过滤器安装接缝和主断面进行检测，检测点应距被测表面20～30毫米，测头以5～20mm/s的速度移动，对被检过滤器整个断面、封胶头和安装框架处进行扫描，如图所示。粒子计数器的最小采样量大于1L/min。;3）检测设备

（1)光散射粒子计数器

其工作原理是利用空气中的微粒对光线的散射现象，将采样空气中的微粒的光脉冲信号转换为相应的电脉冲信号来测定微粒的颗粒数，利用微粒的光散射强度与微粒粒径的平方成正比的关系，测量微粒粒径大小。;（2)激光粒子计数器

其工作原理与光散射粒子计数器基本相同，但因采用了比光散射粒子计数器强100倍的氦-氖激光光源，所以微粒粒径的检测范围达0.1μm。;（3)凝聚核粒子计数器

它是利用饱和蒸汽让微小粒子凝聚为大粒径为粒子，进行微粒粒子浓度测定。;4）合格标准

《洁净室施工及验收规范》中规定，由高效过滤器下风侧泄漏浓度换算成的穿透率来衡量是否合格，计算公式如右式。

K——高效过滤器出厂时检测合格的透过率；

K’——高效过滤器的泄漏浓度换算成的透过率；

C1——高效过滤器上风侧含尘浓度；

C2——高效过滤器下风侧尘浓度。;静压差检测

此项检测的目的是为了测定洁净室的静压差，它可以是正压或负压，以防止洁净室内（外）气流间被污染。

1)检测要求

静压差的测定要求在洁净区内所有的门全部关闭的情况下进行。

在洁净室平面上应从洁净度由高到低的顺序依次进行，一直检测到直通室外的房间。

测管口设在室内没有气流影响的任何地方均可，测管口面与气流流线平行。

所测定记录的数据应精确到0.1Pa。;2)检测方法

记录所有数据。先关闭所有的门。

用微压差计测量各洁净室之间、洁净室走廊之间、走廊与外界之间的压差。

3)测量仪器

采用YJB-150补偿微压差计，量程0～1500Pa或其他压差计，仪表灵敏度小于0.1Pa。;4)合格标准

按照洁净室设计或工艺要求决定维持被测洁净室的正压或负压值。

不同级别的洁净室或洁净区与非洁净室（区）之间的静压差，应不小于于4.9Pa。

洁净室与室外的静压差，不应小于9.8Pa。

对于空气洁净度等级高于5级（100级）的单向流洁净室在开门时，门内0.6m处的室内工作面含尘浓度应不大于相应级别的含尘浓度限值。

若达不到以上标准的要求，应重新调整新风量、排风量，至合格为止。;风速、风量的测定;2)对非单向流洁净室，风量的测量有风管法和风口法两种方法。

风管法测定风量

矩形风管

圆形风管

风口法测量风量

对安装有高效过滤器的风口，可根据辅助风管测量风