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第5章透射电子显微镜技术TEM2024/2/19第5章透射电子显微镜技术TEM

目录5.1电镜的发展历史及现状5.2电镜的分类与特点5.3透射电镜的基本原理5.4透射电镜的仪器结构与性能5.5透射电镜的样品制备技术5.6透射电镜的基本应用00第5章透射电子显微镜技术TEM

5.1电镜的发展历史及现状第5章透射电子显微镜技术TEM

5.1.1电镜照片举例电子显微镜通常可分为扫描电子显微镜和透射电子显微镜两类，是材料微观分析的重要工具之一，被广泛应用于材料、化工、医学、生物等各个领域。例如???01第5章透射电子显微镜技术TEM

（a)恐龙蛋数码图片(b）恐龙蛋扫描电镜图片图1恐龙蛋壳的微观形貌例1：恐龙蛋化石的表面分析5.1.1电镜照片举例02第5章透射电子显微镜技术TEM

例1：恐龙蛋化石的表面分析2008年，江西赣州发现15枚罕见恐龙蛋化石。在肉眼下，恐龙蛋壳表面光滑，但在扫描电镜下，其表面却并不光滑，而是呈凹凸不平状。5.1.1电镜照片举例03第5章透射电子显微镜技术TEM

例2：“泰坦尼克号”铆钉断面形貌（a）“泰坦尼克号”油轮（b）铆钉断面的扫描电镜形貌图2“泰坦尼克号”油轮铆钉的断面分析5.1.1电镜照片举例04第5章透射电子显微镜技术TEM

例2：“泰坦尼克号”铆钉断面形貌“泰坦尼克号”油轮曾号称“永不沉没之船”，然而，在1912年4月15日该船的首航过程即因为与冰山碰撞而永沉北大西洋海底。有科学家通过扫描电镜发现，在该油轮所用的铆钉断面处含有较高比例的有机成份，推测认为这是导致铆钉在冰冷的海水中发脆，进而导致沉船事故发生的原因。5.1.1电镜照片举例05第5章透射电子显微镜技术TEM

例3：“非典”病毒（a）非典型病毒示意图（b）非典型病毒的透射电镜图图3非典型病毒的透射电镜图片5.1.1电镜照片举例06第5章透射电子显微镜技术TEM

例3：“非典”病毒2003年春流行的非典型肺炎由Sars病毒引起，属管状病毒。在透射电镜下，“非典”病毒呈不规则形状，直径约60-220nm。病毒粒子外包着脂肪膜，膜表面有三种糖蛋白：刺突糖蛋白、小包膜糖蛋白、膜糖蛋白。5.1.1电镜照片举例07第5章透射电子显微镜技术TEM

例4：单晶硅与多晶硅（a）单晶硅（b）多晶硅图4单晶硅与多晶硅的高倍率透射电镜形貌5.1.1电镜照片举例08第5章透射电子显微镜技术TEM

例4：单晶硅与多晶硅硅是集成电路产业的基础，半导体硅工业产品包括单晶硅、多晶硅、外延片和非晶硅等，其中单晶硅具有完整的点阵晶体结构，不同的方向具有不同的性质，是一种良好的半导材料，其纯度要求达到99.9999%以上才能满足各类应用要求。利用高分辨率透射电镜可以监测单晶硅是否具有完善的晶体结构。5.1.1电镜照片举例09第5章透射电子显微镜技术TEM

由以上四个通俗的例子可以发现，扫描电镜和透射电镜作为两类最基本的电子显微镜技术，已经渗透于人类生活的各个领域，是人类探索微观世界的有力工具之一。在此，首先有必要对电镜的发展历史与现状作一初步的了解。5.1.1电镜照片举例10第5章透射电子显微镜技术TEM

5.1.2电镜的发展历史（1）波粒二相性理论的提出1924年路易?德布罗意（1892-1989）法国物理学家法国物理学家德布罗意指出：一切接近于光速运动的粒子均具有波的性质。人们由此联想是否可利用波长更短的电子波代替可见光成像？11第5章透射电子显微镜技术TEM

（2）磁透镜聚焦理论的提出1926年德国学者H.Busch提出了运动电子在磁场中的运动理论。他指出：具有轴对称的磁场对电子束具有聚焦作用。这为电子显微镜的发明提供了重要的理论依据。5.1.2电镜的发展历史电子束在磁场中聚焦示意图12第5章透射电子显微镜技术TEM

（3）第一个电子图像的获得1931年图5由鲁斯卡拍摄的放大12倍铜网电子图像德国学者Knoll和Ruska首次获得了放大12倍铜网的电子图像。证明可用电子束和磁透镜进行成像。5.1.2电镜