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现代电子显微分析技术;

第三章透射电子显微镜

;2011年2月18日美国总统奥巴马在访问某公司透射电镜实验室,在系统的显示器上检查图片时,“我看到了一些原子,”他说,“请别碰我的原子。”;材料分析研究中心

FEITECNAI-F30;2.1透射电子显微镜开展简史;电子显微镜之父E.Ruska,1986年诺贝尔物理学奖;第一张电子图像(1931年);近代TEM开展史上三个重要阶段;IBMandNion

200KV超高真空,

最高分辨率保持者

0.075nm;日本,日本电子JEOL

200KV;日本日立Hitachi

200KV;德国蔡司Zeiss

200KV

球差矫正+能量过滤系统;日本,日本电子JEOL

1250KV;美国FEITitan

200KV

球差矫正+能量过滤系统;2.1959年9月长春光机所自行设计研制成功我国第一台大型电子显微镜,分辨本领优于2.5nm,放大倍数10万倍。在天安门前举行国庆十周年中科院游行队伍前就是这台电子显微镜的巨大模型。此成果作为我国四十年重大科学技术成果,并列入了记载古今中外自然科学大事的《自然科学大事年表》。;5.1960年云南大学物理系制成YDX-1型透射电镜,分辨本领(30kV,8nm)。

6.1964年南京教学仪器厂制成XD-302型电镜,分辨本领4nm,批量生产至1967年。

7.1965年底中国科学院北京科学仪器厂研制成功DX-2型电镜,分辨本领0.4/0.5nm。电子光学放大可达25万倍以上。生产了8台。

8.1965年云南大学物理系完成?YDX-3电镜〔30kV,3nm〕。

9.1967年江南光学仪器厂制成DX-201电镜,分辨本领为2nm,放大倍数2,000~50,000X,加速电压为50、80kV。批量生产到1984年。

10.1970年上海电子光学技术研究所设计制造DXB1-12型40万倍透射电镜,点分辨本领达0.5nm。

11.1975年云南大学物理系完成YDX-4透射电镜,采用长寿命阴极Y2O3-Ir等。分辨本领为1.5nm,加速电压50kV。获1978年全国科学大会奖。

12.1976年江南光学仪器厂制成DXT-10电镜,分辨本领1nm,放大倍数最高10万倍,加速电压40、60、80、100kV。仪器性能已到达同类电镜的先进水平,投入批量生产。获1978年全国科学大会奖。1984年研制成功DXT-10C透射电镜测角台,具有±60°的大角度倾斜功能和四个运动自由度。;13.1977年上海电子光学技术研究所完成多功能DXB2-12型80万倍透射电镜,分辨本领保证0.2nm,可达0.14nm(晶格)。配有侧???式大角度旋转倾斜台,X射线能谱装置EDS,可对试样进行微区成分分析。获1978年全国科学大会奖并列为我国四十年重大科学技术成果。进行了小批量生产。

14.??1980年中国科学院科学仪器厂完成DX-4型透射电子显微镜。分辨本领为3.4nm,到达0.204nm(晶格),最高放大倍数为80万倍,最高加速电压为100kV。获1982年中国科学院重大科技成果一等奖。1984年研制成透射电镜的计算机控制系统。

15.??1986年上海电子光学技术研究所完成永磁式透射电镜DXT-75(75kV,0.7nm)。

16.??1987年上海电子光学技术研究所完成DXT-5教学用透射电镜?(50kV,5nm);

17.1987年上海电子光学技术研究所组装完成日本JEOL公司的200CX等透射电镜。

18.1989年江南光学仪器厂引进日本日立公司技术生产H-600A分析电镜。分辨本领TEM时达0.2nm,SEM时达3nm。已生产12台。

19.1989年上海电子光学技术研究所研制成功加速电压为200kV的DXT-200型电子显微镜,分辨本领(晶格)0.2nm,最高放大倍数为50万倍。侧插入倾斜台?(±25°)。1990年获机械电子工业部科技成果二等奖。列为我国四十年重大成果。

20.?1991年上海电子光学技术研究所制成DXT-100A普及型透射电镜?(100kV,0.45nm),获1995年上海科技博览会金奖。

21.??1992年上海电子光学技术研究所完成DXT-50A教学用透射电镜?(50kV,2nm)。;22.?1993年江南光学仪器厂完成DXT-100G普及型透射电镜?(100kV,1nm),具有适应性、方便性好和价格低等特点。获南京市科技进步奖二等奖。

23.1993年江南光学仪器厂完成日本H-600A电镜国产化。分辨本领TEM时达0.2nm,SEM时达3nm。投入生产。获南京市科技进步一等奖。

24.1996年,我国有各种电子显微分析仪器约2021台(包括在用和不用的),其中TEM约75

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