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多级爪型干式真空泵原理分析

唐琳徐曦朱红梅

〔北京朗禾科技，北京100054〕

摘要：

多级爪型干式真空泵的构造对于其材料消耗、体积、能耗等性能有着

格外重要的作用。本文就其原理和国际上最经典的两种构造：螺旋型〔德

国〕、反爪型〔英国〕做了介绍和比照，并提出了最的构造：螺旋反爪构

造。

关键词：爪型干式真空泵“螺旋爪型”干式真空泵“反爪型干式真空

泵”

“螺旋反爪型干式真空泵”

Princpleofclawdrypump

Abstract：

Keywords:clawdrypump;newestprincple

多级爪型干式真空泵是上世纪末其快速进展成熟的型真空泵，由于其如

下突出优点：泵腔内无油、对被抽容器没有油污染、并能直排大气、单泵

就能到达3帕等，在电子行业得到了格外广泛的应用，替代了油封机械泵

以及滑阀真空泵。由于其性能卓越而越来越广泛的应用于航天、核工业、

化工、制药、环保等行业、并逐年成上升的趋势。

其主要的构造型式有：1〕螺旋型2〕反爪型；其构造各有优势，相

比较而言反爪型比螺旋型优势更明显。但由于其构造限制，泵的抽速目前

3

根本上均做到小于600M/h，不能够满足化工和制药等大抽速的需要。

本文介绍了北京朗禾科技的最型构造，结合了以上两种构造的优

势，相比较而言有如下优势：更少材料、更低能耗、更好维护、更大抽速。它

更能适合化工、制药、环保等领域的需要。它对爪型干式真空泵的进展和

应用起到了巨大的推动作用。

—、单级爪泵的工作原理：

如上图所示排气口1转子对

2泵体3进气口4

在图一位置A腔和进气口4

接通,随着转子对2的同步反方向

运动A腔容积变大,气体就吸入泵

内,B腔内的气体也在转子对的作

用下得到了渐渐压缩,我们称为吸

气过程;

图二位置A腔容积连续变大,连续吸气,同时,B腔的容积在转子对2的

同步反方向运动下渐渐变小,运动到和排气口1接通的位置气体通过排气

口排到下一级,这个过程始终回持续到图三位置,吸气和排气同时进展,简称为

吸排气过程;

在图三位置A腔到达了最大容积,吸气完毕和B腔的容积到达了最小,

排气完毕.转子挡住了进气口4和排气口1,起到了自动关闭的作用;

在图四位置随着转子的运转,B腔内没有被排出去的气体和A腔内被

吸入的气体混合到了一起,既不吸气也不排气,我们称为过渡过程;

不连续重复以上3个过程，到达了连续不连续抽真空的目的，由于泵

腔内无需用水或油等介质，有如下的优势：能抽各种化学气体、特别不锈

钢材料制做的爪泵还能抽腐蚀性气体。在航天、制药、化工、核工业等行

业得到了广泛的应用。

二、常见的多级爪泵原理：

1、螺旋型的构造和性能：

a螺旋型构造的三维示意图：

图一

b螺旋型构造原理图：