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本发明公开了一种烧蚀点可调的激光诱导击穿光谱检测装置及其控制方法，包括脉冲激光器、反射镜、聚焦透镜、移动平台以及光谱仪，所述脉冲激光器和反射镜之间设置有预调整光路，所述预调整光路包括相对设置的负透镜和正透镜，所述负透镜和正透镜的主光轴在同一直线上，并与反射镜的反射面形成45°夹角，所述脉冲激光器产生的激光光束依次经负透镜、正透镜和反射镜，再经聚焦透镜聚焦后与样品相互作用产生等离子体；所述负透镜和正透镜之间的距离可调，且所述负透镜或正透镜固定在振动器件上，所述振动器件的振动方向与负透镜和正透镜的主
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117571688A
(43)申请公布日2024.02.20
(21)申请号202311558514.4
(22)申请日2023.11.21
(71)申请人上海有色金属工业技术监测中心有
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