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一种超薄单晶金属膜及其制备方法.pdfVIP

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  • 2024-02-21 发布于四川
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一种超薄单晶金属膜及其制备方法.pdf

    本发明公开了一种超薄单晶金属膜及其制备方法，金属膜厚度最小至单原子层，并且超薄单晶金属膜横向尺寸大于1μm。本发明将长有单晶金属膜的衬底放入腐蚀溶液中进行腐蚀减薄，利用腐蚀分子与金属原子之间化学键的强相互作用逐层剥离金属原子，实现单晶金属膜厚度减薄的效果，在制备过程中，通过设置腐蚀液浓度为5‑500mM，腐蚀时间5‑900min，可实现对单晶金属膜厚度的原子级精度控制，获得低至单原子层的超薄单晶金属膜，单晶金属膜的横向尺寸基本保持不变，使得可以获得横向尺寸大于1μm甚至可至米量级的超薄单晶金属膜

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117568928A

    (43)申请公布日2024.02.20

    (21)申请号202311489243.1

    (22)申请日2023.11.09

    (71)申请人浙江大学

    地址310058

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