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第七章超声加工

Ø人耳能感受的声波频率在16—16000Hz范围内，

声波频率超过16000Hz被称为超声波。

Ø超声波加工(ultrasonicMachining)是近几

十年发展起来的一种加工方法，它弥补了电

火花加工和电化学加工的不足。

Ø电火花加工和电化学加工一般只能加工

导电材料，不能加工不导电的非金属材

料。而超声波加工不仅能加工脆硬金属

树料，而且更适合于加工不导电的脆硬

非金屑材料．如玻璃、陶瓷、半导体锗

和硅片等。同时超声波还可用于清洗、

焊接和探伤等。

7.1超声波加工的基本原理和特点

Ø一、超声波及其特性

Ø超声波波长l，频率f和传播速度c之间关系为

Øl=c/f

Ø超声波主要性质：

Ø1）超声波能传递很强的能量；

Ø2）当超声波经过液体介质传播时，产生液压冲

击和空化现象。

Ø3）超声波通过不同介质时，产生波的反射和折

射现象。

Ø4）超声波在一定条件下，会产生波的干涉和共

振现象。

Ø图7-1中，当超声波从

杆的一端向另一端传播

时，在杆的端部将发生

波的反射。

Ø在杆内存在周期相同、

振幅相同、方向相反的

两个波，产生干涉。

Ø图中x为弹性杆件任意

点b距超声波入射端的

距离。

Ø为了使弹性杆处于最大振幅共振状态，

应将弹性杆设计成半波长的整数倍；

Ø固定弹性杆的支持点，应该选在振动过

程中的波节处，不振动。

二、超声波加工的基本原理

Ø超声波加工是磨

粒在超声振动作

用下的机械撞击

和抛磨作用以及

超声波空化作用

的综合结果，其

中磨粒的撞击作

用是主要的。

Ø三、超声波加工的特点

Ø1)适合于加工各种脆硬材料。既然超

声波加工是基于微观局部撞击作用，所以材料

越是脆硬，受撞击作用所遭受的破坏越大，愈

适宜超声波加工。例如玻璃、陶瓷(氧化铝、氮

化硅等)、石英、锗、硅、石墨、玛蹈、宝石、

金刚石等材料，比较适宜超声波加工。相反，

脆性和硬度不大却具有韧性的材料，由于具有

缓冲作用而难以采用超声波加工。因此，选择

工具材料时，应选择既能撞击磨粒，又不使自

身受到很大破坏的材料，例如不淬火的45钢等。

Ø2)由于工具材料校软，易制成复杂的形状，工

具和工件又无需作复杂的相对运动，因此普

的超声波加工设备结构简单。但若需要加工较

大而复杂精密的三维结构，可以预见，仍需设

计和制造三坐标数控超声波加工机床。

Ø3)由于去除加工材料是靠极小磨粒瞬时局部

的撞击作用，故工件表面的宏观切削力很小，

切削应力、切削热很小，不会引起变形及烧伤，

表面租糙度Ra值可达1．，加工精度可达0.01—

0．02mm，并可加工细小结构和低刚度的工件。

7.2超声加工设备及其组成部分

Ø超声波加工设备一般包括超声波发生器、超

声波振动系统、机床本体和磨料工作液循环系统。

Ø超声发生器：超声电源

Ø超声振动系统：超声换能器、变幅杆和工具

Ø机床本体：工作头、加压机构和进给机构、工作台及

位置调整机构

Ø工作液及循环系统和换能器冷却系统：磨料悬浮循环

系统、换能器冷却系统。

Ø一、超声波发生器

Ø作用：将50Hz工频交流电转变为有一定功

率输出的超声频电振荡，以提供工具端面控复

振动和去除被加工材料的能量。

Ø基本要求：输出功率和频率在一定范围内连续

可调，最好具有对共振频率自动跟踪和自动微

调的功能。此外还要求结构简单、工作可靠、

价格便宜和体积小等。

Ø二、声学部件

Ø作用：是把超声频电振荡转变为机械振动，使

工具端面获得高频率及一定振幅的振动。它是

超声波加工机床中最重要的部分，由换能器、

振幅扩大器和工具组成。

Ø换能器的作用是把高频电能转变为机械能，目

前实现这种能量转换常采用压电效应和磁致伸

缩效应。

（一）压电效应超声波换能器利用

压电效应工作。在压电材料上加上

16000Hz以上的交变电压，压电材料产

生高频伸缩变形，使周围介质做超声振动。

（二、）磁