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本发明公开了一种新型的超声喷雾热解旋转镀膜机，通过超声雾化的方式将含有膜成分的前驱体溶液分散成尺寸均匀的微米级微粒，利用压缩气体作为载气，将前驱体微粒喷洒到高速旋转的基底上，在离心力作用下微粒变成纳米级液膜，后经热解成薄膜。本发明巧妙结合了喷雾热解和高速旋涂两种制膜方法的优势，制备的薄膜具有尺寸可调，大面积均匀，致密度高等特点，能够满足诸多领域对于高质量薄膜的要求。本发明不仅功能强大还结构简单、成本低廉，能够广泛应用到各种工业和实验室镀膜环境中，提高镀膜效率和质量。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN115463777A
(43)申请公布日2022.12.13
(21)申请号202211021612.X
(22)申请日2022.08.24
(71)申请人兰州大学
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