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本发明公开一种堆垛机器人对晶圆盒的补偿方法及装置，定位处于待处理空间的晶圆盒；对待处理空间定义坐标系，并针对晶圆盒形成定位坐标；在堆垛机器人的机械臂移动晶圆盒时，采集晶圆盒的移动信号；根据晶圆盒的移动信号触发晶圆盒的动态跟踪，并实时监控晶圆盒的姿态；待堆垛机器人的机械臂处于停止状态，并在预设停止时间内确定晶圆盒的姿态变化量；根据晶圆盒的姿态变化量确定晶圆盒在对应方向的偏移量；根据对应方向以及偏移量调控堆垛机器人的机械臂的校正动作，并完成晶圆盒的补偿，从而保证了晶圆盒的补偿，并根据晶圆盒的姿态变化
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117565056A
(43)申请公布日2024.02.20
(21)申请号202311825207.8
(22)申请日2023.12.28
(71)申请人艾媛永旭半导体（江苏）有限公司
地
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