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2024-02-21 发布于四川
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本实用新型涉及抽真空技术领域，具体涉及一种抽真空装置。真空泵出气口与涡轮增压器的废气进口连接，真空泵排出的废气进入涡轮增压器中，驱动涡轮旋转，进而通过涡轮带动压气轮旋转，压气轮旋转时能够对待抽真空腔体抽气，由于压气轮能够增大气体压力和流量，通过压气腔处理的气体进入真空泵提高了真空泵的抽真空效率，同时无需增加动力驱动涡轮增压器，减少了抽真空装置的能耗。综上分析，本申请利用真空泵排出的废气驱动涡轮增压器，增大了真空泵进气口在单位时间内的进气量，同时也增大了通过真空泵进气口进入真空泵的气体压力，提高了

(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN220505310U

(45)授权公告日2024.02.20

(21)申请号202322228264.X

(22)申请日2023.08.16

(73)专利权人常州市大成真空

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