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本实用新型公开了一种防底部沉积的存储装置，包括装置主体和底脚，装置主体顶部设有顶盖，且装置主体内部左侧设有第一固定块，并且第一固定块内部设有第一电机，且第一固定块与第一漏管进行连接，且第一电机与第一旋转轴进行连接，并且第一旋转轴外侧设有第一螺旋叶，装置主体底部设有橡胶隔板，且橡胶隔板顶部设有振动器。由于设置了数个旋转轴和螺旋叶，使得内部的硅片抛光液进行搅匀，避免硅片抛光液在装置主体内发生沉积等后果，且漏管可以防止螺旋叶在旋转的过程中发生意外，并且由于橡胶隔板具有一定的弹性，振动器在对装置主体底部
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220501575U
(45)授权公告日2024.02.20
(21)申请号202321024162.X
(22)申请日2023.05.04
(73)专利权人江苏山水半导体科技有限公司
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