传感器及其制备方法.pdfVIP

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  • 2024-02-21 发布于四川
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本申请提供一种传感器及其制备方法,传感器包括基底,以及设置于基底上的温度传感组件和氧气浓度传感组件;温度传感组件包括设置于基底表面上的热电偶层,热电偶层包括分别设置于基底表面的正极热电偶层和负极热电偶层,正极热电偶层和负极热电偶层之间的基底表面具有空白区域;氧气浓度传感组件设置于空白区域;氧气浓度传感组件包括依次层叠设置的隔绝层、导电层和氧敏感层,隔绝层位于基底表面。本申请将温度传感器和氧气浓度传感器集成在同一个基底上,具有结构简单、尺寸小和成本低等优点。

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117571043A

(43)申请公布日2024.02.20

(21)申请号202311423094.9

(22)申请日2023.10.31

(71)申请人清华大学

地址100084

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