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分割方法.pdfVIP

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  • 2024-02-21 发布于四川
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分割方法.pdf

    本发明提供一种分割方法，该分割方法不使芯片彼此接触，而能够更可靠地对被加工物整体进行分割。本发明的分割方法是用于分割板状的被加工物的分割方法，其包括下述步骤：起点区域形成步骤，沿着设定于被加工物的分割预定线形成作为分割的起点的起点区域；加热步骤，在实施起点区域形成步骤之后，对被加工物进行加热；冷却步骤，在实施加热步骤之后，将被加工物冷却；分割步骤，在实施冷却步骤之后，对被加工物施加力，沿着起点区域对被加工物进行分割；以及片粘贴步骤，在实施分割步骤之前，在被加工物上粘贴扩展片，在分割步骤中，通过对

    (19)中华人民共和国国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN108735588A

    (43)申请公布日

    2018.11.02

    (21)申请号20181

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