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晶片的搬出方法.pdfVIP

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  • 2024-02-21 发布于四川
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晶片的搬出方法.pdf

    提供晶片的搬出方法，在利用静电卡盘工作台对晶片进行吸附保持的情况下，防止以剥离带电为主要原因的静电卡盘工作台的静电吸附力的降低。一种晶片的搬出方法，包含如下的步骤：电压施加停止步骤，对被施加电压而静电吸附着晶片的静电卡盘工作台停止电压的施加；除电电压施加步骤，在实施了电压施加停止步骤之后，流入与为了对晶片进行静电吸附而流过静电卡盘工作台的电流相反方向的电流，对静电卡盘工作台施加抵消剥离带电的除电电压；以及脱离步骤，在实施了除电电压施加步骤之后，在对静电卡盘工作台施加除电电压的状态下使晶片从静电卡

    (19)中华人民共和国国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN108735624A

    (43)申请公布日

    2018.11.02

    (21)申请号20181

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