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双行程混合驱动微纳米压痕/划痕测试装置.pdfVIP

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  • 2024-02-21 发布于四川
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双行程混合驱动微纳米压痕/划痕测试装置.pdf

    本发明涉及一种双行程混合驱动微纳米压痕/划痕测试装置，属于精密传感器及精密仪器技术领域。由混合驱动单元、载荷检测与量程切换单元、位移检测单元、样品移动单元、基座、支撑板和导轨滑块组件组成。本发明利用音圈电机、压电叠堆‑柔性铰链实现混合驱动，通过调整屏蔽罩（架）与力传感器装配关系，采用分段载荷检测与量程切换方式，结合位移检测单元可实现不同加载行程和压入载荷的精确测量，并集成样品移动单元用于实现对样品的压入位置更换以及划痕测试。采用模块化设计思路，结构紧凑，安全可靠，既可实现对块状金属材料、薄膜材料

    (19)中华人民共和国国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN108760548A

    (43)申请公布日

    2018.11.06

    (21)申请号20181

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