传感器及其应用（第三版）Z—半导体敏感元件.pptVIP

Z—半导体敏感元件Z—半导体敏感元件11.1Z—半导体敏感元件的由来与特点11.2温敏Z—元件的伏安特性11.3基本应用电路11.4应用开发的基本原理11.5力敏Z—元件简介11.1Z—半导体敏感元件的由来与特点

11.1.1由来

自1993年以来，Z—元件(Z—元件是俄罗斯传感器专家V．D．Zotov在20世纪80年代中期独家研制的专利技术，在全世界范围内无类似产品，属国际首创的高新技术前沿产品)在世界和我国引起轰动。这种元件正向输入直流电压，可得到幅值为输入电压20%～40%的直流脉冲，频率随温度、湿度、磁场、流量、光强、射线等物理量变化，无需前置放大器和A/D转换直接得到数字信号(准确地说是脉冲信号)。它性能独特，完全区别于一般的半导体二极管和无源敏感元件(如热敏电阻)。它是一种有源非线性敏感元件。1997年中国科学院新疆物理研究所成立了Z—元件研究小组，并研制出具有温度敏感和光敏感特性的频率输出元件，其特性同Z—元件类似，但性能优于报道的Z—元件，更重要的是制作工艺有明显的不同。由于其具有频率输出的特性且输出频率对温度敏感，因此为和Z—元件区分且表明特点，特命名为F元件，即英文Frequency的首字母。

Z—半导体敏感元件(简称Z—元件)是20世纪末刚刚出现的高新技术前沿产品。由于它特性新颖、市场潜力大、具有广阔的应用前景，已引起国内外广泛的关注和极大的兴趣。

Z—元件主要有温敏、光敏和磁敏三种，目前力敏Z—元件也已应用。本章详细介绍温敏Z—元件的结构、特性、应用电路、工作原理和应用开发方向，以供广大读者了解Z—元件，正确使用Z—元件以备开发新产品时参考。本章还将简单介绍力敏Z—元件。

Z—元件具有一系列优点，在信息产业界受到高度重视。它的应用电路极其简单，输出幅值大、灵敏度高、功耗低、抗干扰能力强，可分别输出模拟、开关或频率三种信号。当输出数字量信号时，它不需前置放大和A／D转换就可与计算机直接通讯，特别适合研制新一代微型三端数字传感器。这种新型数字传感器可使信息系统的硬件结构大为简化，有助于降低成本，提高可靠性，缩短研制周期，为用户新产品开发带来很大的方便。温敏Z—元件的应用领域十分广阔，几乎可涉及国计民生各个部门。预期在航空航天、机器人、火灾探测、保安报警、家用电器、汽车电子、医疗保健、农业气象、光纤通讯、电力系统、仪器仪表、儿童玩具等领域将会得到广泛的应用。

Z—元件在正偏使用时，它具有一条“L”型伏安特性,在电压(或在温、光、磁等外部激励下)控制下，可从高阻状态迅速经过负阻区跳变到低阻状态。在反偏使用时，与常规PN结特性相似，但反向击穿电压很高，反向漏电流很小,具有低功耗特点。Z-元件能利用极其简单的电路，设定在不同的偏置状态，选择合适的静态工作点，可在温、光、磁等外部激励下，迅速产生灵敏度很高的与外部激励物理量成比例的开关量输出、频率脉冲输出或低功耗模拟量输出，这种优异的特性展示了Z—元件的开发潜力和应用前景。11.1.2特点

Z—半导体敏感元件是一种新型半导体敏感元件，它与其它敏感元件相比有如下突出的优点：

(1)体积极小，特别适合研制微型电子装置。

(2)反应灵敏，特别适合研制快速反应的电子装置。

(3)工作电压低，工作电流小，特别适合研制便携式电子装置和本质安全型仪器。

(4)Z—元件应用电路目前在世界范围内是最简单的，可大幅度降低整机成本，而且由于它焊点少，因而故障率低，可提高整机可靠性。(5)Z—元件应用电路统一规范，测量温度、磁场、光强等参数均用同一种简单电路，为用户的二次开发提供了极大的方便。

(6)Z—元件可直接输出频率信号，可与计算机直接连接，免除繁琐昂贵的中间环节，为用户降低整机成本提供了重要的前提。

(7)Z—元件是研制新一代“数字传感器”的理想元件，随着数字传感器的不断出现，在不久的将来可能促成传感器、仪器仪表结构和工业测控方式的重大变革。

(8)可实现非接触测量。

11.2温敏Z—元件的伏安特性

Z—元件是用电阻率为40～60Ω·cm，厚度为50μm的N型硅单晶，采用平面扩散工艺进行Al扩散以形成PN结，然后用AuCl·4H2O溶液在高温下进行Au的扩散。制成的硅片进行单面打磨后，用化学方法镀上Ni电极以形成欧姆接触，然后划片切割，制取台面以减少漏电流，最后进行引线焊接和封装。实际上Z—元件可以简化为一个PN结+敏感层的复合结构。该敏感层是由元件的扩金工艺制成的。对于Au在Si中的电学性质和对于掺金硅热敏电阻器的研究表明：Au在Si