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一种真空传输装置及其加工方法.pdfVIP

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  • 2024-02-21 发布于四川
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一种真空传输装置及其加工方法.pdf

    本发明公开了一种真空传输装置及其加工方法，包括传输阀座，所述传输阀座内设有传输腔，所述传输阀座的侧壁上设有与反应腔贯通的阀口，所述阀口贯通所述传输腔，所述传输阀座上设有门阀座，所述门阀座上设有门阀装置，门阀装置包括门阀板和驱动所述门阀板开闭阀口的驱动机构，所述门阀板位于阀口内侧。本方案将门阀装置设置在传输阀座上，传输装置通过阀口直接与反应腔连接，门阀板实现阀口的开闭，缩短了传输腔内真空机械手臂的传输距离，提高了传输精度，提高了传输阀座的功能集成化。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117570213A

    (43)申请公布日2024.02.20

    (21)申请号202311413222.1

    (22)申请日2023.10.27

    (71)申请人浙江先导精密机械有限公司

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