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本发明公开了一种可二维拉伸与弯曲的微米阵列等离子体反应器及其制备方法，本申请中针对现有柔性等离子体源仅可弯曲、不可拉伸的半柔性问题，以及为实现全柔性所要求的大尺寸、高精度的制备工艺问题。本发明提出了一种以共面介质阻挡放电为结构、采用PDMS和液态镓铟合金为材料的柔性等离子体源及其基于印章法的制备方法。PDMS的弹性和液态镓铟合金的流动性保证了柔性等离子体源可长期、多次地拉伸、弯曲，具有一定的形变和断路自恢复能力。此外，本发明采用的印章法制造技术可使有效放电面积达25cm2的同时，其电极结构精度达
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117596761A
(43)申请公布日2024.02.23
(21)申请号202311745390.0
(22)申请日2023.12.19
(71)申请人西安交通大学
地址710000
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