一种防止硅晶圆在抛光过程中崩边、金属污染的抛光夹具.pdfVIP

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2024-02-24 发布于四川
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一种防止硅晶圆在抛光过程中崩边、金属污染的抛光夹具.pdf

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本发明适用于夹具技术领域，提供了一种防止硅晶圆在抛光过程中崩边、金属污染的抛光夹具，包括夹具框，所述夹具框的内部固定连接有三个定位框，三个定位框呈圆形阵列方式设置在夹具框的内部，定位框的内部设置有内衬环，内衬环的内部设置有硅晶圆片，所述夹具框的外表面开设有齿牙，所述内衬环的外表面固定连接有第一强化杆和第二强化杆，该防止硅晶圆在抛光过程中崩边、金属污染的抛光夹具，通过装置带动硅晶圆片在设备中进行公转自转完成抛光工序，并通过内衬环减少定位框的内壁会对硅晶圆片的倒角产生破坏，造成硅晶圆片倒角形状损坏、

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117584036A

(43)申请公布日2024.02.23

(21)申请号202311788640.9

(22)申请日2023.12.25

(71)申请人浙江华盛模具科技有限公司

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