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本公开的目的在于提供一种能够容易地对不同尺寸的工件进行泄漏测试的检查条件的管理的腔室。本公开的一个方式的腔室(10)是泄漏测试器用腔室,其具备:主腔室(20),其容纳工件(100);副腔室(30),其与主腔室(20)连通;容积变更机构(40),其变更副腔室(30)的容积;容积变更机构(40)对于不同尺寸的工件(100),以使主腔室(20)和副腔室(30)中的工件(100)的外侧的空间的合计容积为恒定的方式,变更副腔室(30)的容积。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117589383A
(43)申请公布日2024.02.23
(21)申请号202310993808.3
(22)申请日2023.08.08
(30)优先权数据
2022-127229202
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