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本发明公开了一种电镀铜防含止阳极膜脱落添加剂镀液及其制备方法,包括以下组分质量浓度:硫酸铜70‑90g/L、浓硫酸200g/L、复合光亮剂30‑60mg/L、复合整平剂20‑40mg/L、氯离子40‑60mg/L(由盐酸提供)、复合阳极泥阻落剂20‑60mg/L、表面活性剂10‑30mg/L、促进剂10‑30mg/L,电流密度使用范围0.5‑6.5ASD,余量为去离子水。该发明可以不仅有达到80%以上的深镀能力,而且不会存在阳极泥脱落从而导致孔内折镀现象,提高镀层致密性。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117587471A
(43)申请公布日2024.02.23
(21)申请号202311537614.9
(22)申请日2023.11.17
(71)申请人珠海联鼎化工设备有限公司
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