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一种带有水平度自动调节机构的等离子刻蚀机.pdf

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    本发明涉及等离子刻蚀机技术领域，具体为一种带有水平度自动调节机构的等离子刻蚀机，包括刻蚀机箱体，所述刻蚀机箱体的内壁固定连接有支撑板一，所述支撑板一的上表面开设有转槽，所述刻蚀机箱体的内壁固定连接有支撑板二，所述支撑板二的上表面固定连接有支撑箱体一，所述支撑板二的上表面固定连接有支撑箱体二，所述支撑箱体二的上表面固定连接有支撑柱，所述刻蚀机箱体的前侧开设有观察窗，本发明利用激光探头对水平板发射激光来测量每个激光探头和水平板之间的距离，从而通过位于支撑箱体一内的伺服电机使得滑槽块一和移动块发生上升

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117594411A

    (43)申请公布日2024.02.23

    (21)申请号202311560945.4

    (22)申请日2023.11.22

    (71)申请人亦亨电子（上海）有限公司

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