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本发明提供断裂装置和断裂方法，能够抑制与确认工件是否被分割相关的工时。断裂装置(1)具有：框架固定单元，其将由沿着分割预定线形成有分割起点的工件、粘贴有工件的片以及粘贴有片的外周的框架构成的工件单元的框架固定；检测单元，其检测工件的分割预定线；夹持单元，其将与应分割的分割预定线相邻的区域的工件从上下夹持；推压部件(60)，其在夹持单元的相反侧推压与应分割的分割预定线相邻的区域的工件而将工件断裂；载荷计(71)，其测量推压部件(60)推压工件的载荷；以及控制单元，其根据载荷计(71)所测量的载荷值
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117584290A
(43)申请公布日2024.02.23
(21)申请号202311025667.2H01L21/78(2006.01)
(22)申请日2023.08.
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