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本发明公开了一种气动式微运输装置，包括空气压缩机，空气压缩机通过气泵管连接有气动电磁阀，气动电磁阀通过继电器连接单片机，单片机通过USB接口连接Labview上位机；气动电磁阀还通过气泵管连接有微型运输阵列，在微型运输阵列上方设置有运输板。该装置采用基于气动式原理设计，运输方式相较于传统接触式运输装置，避免了由摩擦产生的磨损而引起的失效，且得益于非接触式运输的特点，进一步扩大了其应用范围，采用了深硅刻蚀的微加工工艺，硅板的结构充当了微运输装置的气室通道与喷嘴，极大地缩小了微运输装置的结构尺寸，提
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117585456A
(43)申请公布日2024.02.23
(21)申请号202311461506.8
(22)申请日2023.11.03
(71)申请人西安近代化学研究所
地址710
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